“其次,是在后段互连环节,我们和中芯国际的伙伴共同攻关,采用了新的铜互连阻挡层材料和更低介电常数的低k介质,有效降低了RC延迟和整体芯片功耗。”
“而第三点,至关重要,”他提高了音量,目光转向陈默。
“陈总领导的EDA团队,提供了更新一代、精度更高的PDK和仿真模型。
特别是其中的化学机械抛光(CMP)建模和面向制造的设计(DFM)规则检查,让我们在设计阶段就预先规避了超过30%的潜在制造热点(HOtSpOt)和天线效应问题。
这大大减少了流片后的反复次数,缩短了良率爬升周期。
可以说,是设计和工具的进步,反向拉动了制造工艺的成熟。”
孟良凡这时推了推眼镜,严谨底补充道:
“庭波总、陈总、姚总,68.5%的良率,对于一条完全依靠我们自身技术力量摸索、且受到诸多外部限制的14nmFi工艺线而言,是一个里程碑,它证明了技术路线的可行性。
这标志着我们已初步掌握了中端性能芯片的自主可控设计制造能力。”
他话锋一转,依旧保持着客观:
“但我们必须清醒,这与台积电7nm成熟制程超过95%的良率相比,差距巨大。
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